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美國API 激光干涉儀使用介紹
美國API 激光干涉儀使用介紹 (一) 硬件的安裝連接及調光 A. 安裝步驟 ? 首先將激光干涉儀放置于所需測量機器的工作平臺，讓激光照射 的方向大致與所測軸運動方向平行。 ? 打開激光干涉儀下面的磁力座開關（如平臺非鐵件，需安裝一鐵 板以便磁力座更好的吸附）。 ? 將機器所測量軸移動至近處軟限位位置。 ? 將 1D/3D 反射鏡鏡面朝向干涉儀方向并安裝在機器運動狀態下穩 定不會晃動的零部件上。（反射鏡與干涉儀均可作為運動測量） ? 激光干涉儀與反射鏡安裝完畢后，檢測測量軸在做全程運動時能 有效的接收激光照射且不會碰到反射鏡及機器的任意部件。 B. 硬件連接注意事項 ? 在做硬件連接前請將電源開關置于關閉狀態 ? 氣象站接口（weather ）在連接前請務必注意方向性，拔出時請捏 住根部彈簧接口拔出，對野蠻插拔導致接口損壞，API 不予保修 ? 電源線接口（DC IN 12V ）有螺旋扣，在連接時需注意。 ? 在安裝好激光干涉儀后將水平與垂直方向的旋鈕調整至中間位置， 以確保在光路調整過程中兩個方向均有可調節的余量。 ? 氣象站材料溫度傳感器和空氣溫度傳感器以及大氣壓力傳感器請 放置于機器的工作臺面上。 C. 光路調節步驟 1. 將反射鏡前面的旋轉蓋進行旋轉，讓旋轉蓋上的白點置于下方 2. 移動機器測量軸將干涉儀（或反射鏡）移動至兩者近端 3. 借助機器的控制手柄或手輪移動其他兩個軸，讓激光干涉儀的 光線照射在反射鏡的白點位置，如無控制手柄可借助的情況下 請調節反射鏡處的磁力座或十字插接件上的連接桿進行移動 調節 4. 移動機器測量軸將干涉儀（或反射鏡）移動至兩者遠端 5. 如果激光照射在 白點水平位置距離偏差過大致使調節旋鈕超 越可調范圍，請松開激光干涉儀下方的磁力座開關，移動干涉 儀適量角度確保激光照射在白點垂直線上 6. 此時調節激光干涉儀主機右側及下方的調節旋鈕，使激光光線 照射在反射鏡白點的中心位置 7. 重復 2、3、4、6 步驟，來回往返數次，讓激光全程照射在反 射鏡白點中心，此刻初次調光完成，將反射鏡前端的旋轉蓋進 行 90 度或-90 度旋轉致使白點置于左右兩側 8. 打開軟件主界面，線性光強窗口條幅深綠色，數值 100% （機 器測量軸全程運動時），1D 的配置的激光干涉儀即可有效的測 量線性精度 .....
